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■お客様の業種をお知らせください。

半導体関連 　太陽電池関連

■お問い合わせの装置を選択してください。 （複数選択可）

SSM社
Hg-CV/IV装置 　非接触式Low k 膜測定装置 　FastGate®装置 　拡がり抵抗測定装置(SRP)

SEMILAB社

ライフタイム測定装置 　抵抗測定装置 　結晶欠陥測定装置 　P/N 判定測定器 　　その他

■SOPRA社

分光エリプソメーターGES-5E 　細孔材料計測計EP/EPA 　高性能分光エリプソメーター　IRSE-5　/ RT-SE

■ご興味のあるアプリケーションを選択してください。 （複数選択可）

EPI (Bulk) CarrierProfile 　　 イオン注入 　　 ゲート酸化膜評価 　　 拡散炉管理

LifeTime 　Low-k（誘電率測定） 　ThinOxide & High-k電気膜厚モニタ 　GOI 　結晶欠陥 　拡散長 　薄膜測定

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